We help the world growing since 1983

Technology Solutions for High-purity Gas Delivery Systems for Semiconductor Processes

Summus puritas gasi limbis technologiae magna pars est ratio copiae gas puritatis summus, quae technologia clavis est ut debitum gas puritatis summus ad punctum usus liberaret et qualitatem qualificatam adhuc conservaret;Summus puritas gasi limbis technologiae includit rectam rationem systematis, delectum caerimoniarum et accessiones, constructionem et institutionem ac probationem.Superioribus annis, magis magisque severae requisita de puritate et immunditia contentum summus puritatis vaporum in productione microelectronicorum productorum, quae per ambitus magnas integrales repraesentati sunt, technologiam fistulae summae puritatis gasorum magis magis sollicitos et confirmatos fecerunt.Haec est summa brevis prospectus puritatis gasi limbis ex materia delectuof constructione, necnon acceptio et quotidiana procuratio.

Genera communium gasorum

Classificatio gasorum communium in electronicis industriae.

Commune gasorum.Mole gas.: hydrogenii (H *2), nitrogen (N2) dolor (O2), argon (A2) etc.

Proprium gasorumsunt SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3,  BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6...... etc.

Genera gasorum specialium generatim mordax esse possuntgas, toxicgas, flammabilesgas, combustibilisgas, inersgas, etc. Communiter gasorum semiconductorium usus plerumque hoc modo indicatur.

(i) Corrosivum / toxicgas: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3...etc.

(ii) Flammabilitygas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH*3F, CO…etc.

(iii) combustibilitasgas: O2, Cl2, N2O, NF3... etc.

(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2Ne, Kr, Ipse…etc.

Multi vapores semiconductores corpori humano nocent.Peculiare quidam hi vapores, ut SiH4 combustio spontanea, dummodo Leak violenter cum oxygenio in aere agere incipiet et ardere;et AsH3valde noxia, quaevis parva lacus periculum vitae humanae causare potest, est ob haec manifesta pericula, et ideo requisita ad salutem ratio designandi maxime alta est.

Applicationem harum gasorum  

Pro magna materia rudis hodiernae industriae, productorum gasorum late usus est, et magnus numerus gasorum communis vel specialium gasorum in metallurgia, chalybe, petroleum, industria chemica, machinis, electronicis, vitro, ceramicis, materiis aedificandis, constructio adhibentur. processus cibi, medicinae et medicinae.Applicatio gasi magni momenti in summorum technologiarum horum agrorum praesertim impulsum habet, ac necessaria est eius materia gasi rudis vel processus gasi.Solum cum necessitatibus et promotione variarum novae sectorum industrialium et scientiarum recentiorum et technologiarum, gas industriae fructus augeri possunt per saltus et limites secundum varietatem, qualitatem et quantitatem.

Gas application in microelectronics et semiconductor industriae

Usus gasi magnas partes in processu semiconductoris semper egit, praesertim processus semiconductoris in variis industriis late adhibitus, a tradito ULSI, TFT-LCD ad industriam micro-electro-mechanicam (MEMS) omnibus qui sic dicti processus semiconductoris utuntur ut processus fabricandi productorum.Puritas gasi momentum definitivum habet in executione partium et productum cedit, et salus gasorum comparatur ad salutem personarum et ad salutem operationum plantarum.

Summus significatio puritatis fumantia in gas onerariis summus puritas

In processu chalybis immaculati liquefaciens et materiam faciens, circa 200g gasi per ton absorberi potest.Post processum chalybis immaculati, non solum superficies eius viscosa variis contaminantibus, sed etiam in cancello metallico quandam quantitatem gasi absorbuit.Cum airfluxus per pipelines est, metallum hanc partem vaporis iterum intrant venti editi, polluentes purum vaporem.Cum airfluxus in tubum discontinuus est, tubus gasi pressus adsorbit, et cum transit fluxus aeris, gas adsorbetur per tubum guttam pressionis ad solutionem format, et etiam gas resolutum purum gasi in tubo intrat. ut immunditias.Eodem tempore repetitur adsorptio et resolutio, ut metallum in interiore superficie tubi etiam quandam pulveris quantitatem producat, et haec particulae metallicae pulvis gasi purum intra tubum inquinant.Haec indoles tubi essentialis est ad puritatem gasi transportati curare, quae non solum altissimam lenitatem internae superficiei tubi requirit, sed etiam altam gerunt resistentiam.

Cum Gas cum effectus mordax validis adhibetur, fistulae ferreae corrosio-resistentes incorruptae ad limbis adhiberi debent.Alioquin, fistula ex corrosione macularum in superficie interiori ob corrosionem producet, et in casibus gravibus, magna exspoliatio metallica, vel etiam perforatio, quae purum gas dividendum contaminabit.

Connexio summus puritatis et summus munditiae gasorum transmissio et distributio pipelines magnarum rates fluunt.

Principio, omnia iuncta sunt, et usus fistulae ad nullam mutationem applicandam cudoneam instituendam requiruntur.Materiae carbonis contentae nimis altae permeabilitati partium iunctarum cum glutino subiectae sunt, quae mutuam penetrationem gasorum intus et extra fistulam reddit, ac puritatem, siccitatem et munditiam gasi transmissi excludit ac perdat. omnis nostra opera.

In summa, ad gas puritatis summus et fistulae transmissionis peculiaris gasi, peculiari tractatione uti necesse est fistulam ferream intemeratam altae puritatis, ut systema pipelineum purissimum (including tibias, caerimonias, valvulas, VMB, VMP) in. summus puritatis gas distributio missionem vitalis obtinet.

Notio generalis technologiae mundae ad fistulas tradendas et distribuendas

Magnopere purum et mundum corpus gasi transmissionis cum limbis significat quod quaedam requiruntur vel moderantur per tres aspectus gasi transportandae.

Gas puritas: Contentum immunditiae atmosphaerae in gGas puritatis: Contentum immunditiae atmosphaerae in gas, fere exprimi solet ut recipis puritatis gasi, ut 99,9999%, etiam exprimitur ut ratio volubilis immunditiae atmosphaerae contenti ppm, ppb; ppt.

Siccitas: moles vestigium umoris in gas, vel quantitas humiditas vocatur, plerumque exprimitur per punctum ros, ut pressionem atmosphaericam punctum -70 ros.C.

Munditia: numerus particularum contaminantium in gas, particulae magnitudo µm, quot particulas/M3 exprimere, pro aere compresso, exprimi solet etiam per quot mg/m3 residuarum solidarum necessariarum quae tegunt contentum. .

Magnitudo inquinatissima classificationis: particulae pollutantes, maxime refert ad cicutas vagationem, gestationem, corrosionem ex particulis metallicis generatam, particulae fuliginis atmosphaerae, necnon microorganismi, phages et humoris condensationis guttulis gasi continentis etc. dividitur in

a) Particulae magnae - particula magnitudine supra 5μm

b) Particula - diametri materialis inter 0.1μm-5μm

c) Particulae Ultra-micro - magnitudo particula minus quam 0.1μm.

Quo augeatur applicatio huius technologiae, ut percipere possit intellegentiam particulae magnitudinis et μm unitates, certa particularis particulae statui provideatur ut referatur.

Haec comparatio particularum particularium est

Nomen / particula (µm)

Nomen / particula (µm) Nomen / particula (µm .))
Virus 0.003-0.0 Aerosol 0.03-1 Aerosolized microdroplet 1-12
Nuclei cibus 0.01-0.1 Aliquam 0.1-6 Fuge cinis 1-200
Carbonis nigri 0.01-0.3 Lac pulveris 0.1-10 Pesticide 5-10
Resina 0.01-1 Bacteria 0.3-30 Caementum pulvis 5-100
Cicero fumum 0.01-1 Pulvis arenarius 0.5-5 Pollen 10-15
Silicone 0.02-0.1 Pesticide 0.5-10 Capillus humanus 50-120
Crystallized sal 0.03-0.5 pulvis sulphuris attenti 1-11 Mare arena 100-1200

Post tempus: Iun-14-2022